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采用直流弧光放电技术,以金属钛为原料、高纯氮气为工作介质制备了不同形貌的氮化钛(TiN).X射线衍射与选区电子衍射结果表明,产物为纯单相立方氮化钛.透射电子显微镜和扫描电子显微镜测试表明,按温度由高到低分布,在不同温度区域的样品分别由块状、片层堆叠状和多孔状变为亚微米颗粒状和纳米颗粒状,样品最佳合成气压为20kPa.