【摘 要】
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简要回顾了半导体电子器件由真空电子管到固体晶体管,直至纳米电子器件的发展历程.分别比较了不同的半导体电子器件的材料、理论和所采用的制备技术.在此基础上综述了当前较
【机 构】
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河北工业大学微电子技术与材料研究所,天津理工学院光电信息系
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简要回顾了半导体电子器件由真空电子管到固体晶体管,直至纳米电子器件的发展历程.分别比较了不同的半导体电子器件的材料、理论和所采用的制备技术.在此基础上综述了当前较热门的纳米电子学和固态纳米电子器件,并由纳米器件的分类简单介绍了当前固态纳米电子器件的三个部分,即量子点、谐振隧穿器件和单电子晶体管.最后对半导体器件的发展提出了展望.
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