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低能离子束刻蚀番茄果皮的α透射能谱研究
低能离子束刻蚀番茄果皮的α透射能谱研究
来源 :生物物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sunsarry
【摘 要】
:
用20keV的Ar^+,N^+离子分别以(500-2500)×2.6×10^13ions/cm^2,(500-4000)×2.6×10^13ions/cm^2的剂量对番茄果皮进行刻蚀,刻蚀前后的榈厚度用α透射能谱进行测量,借助Trim97计算程序对刻蚀厚度进行标定。
【作 者】
:
卞坡
余增亮
【机 构】
:
郑州大学物理工程学院,中国科学院等离子体物理研究所
【出 处】
:
生物物理学报
【发表日期】
:
1999年3期
【关键词】
:
低能离子
α透射能谱
刻蚀
基因工程
Etchingα Transmission Energy Spectrum Low Energy ion beamGene
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用20keV的Ar^+,N^+离子分别以(500-2500)×2.6×10^13ions/cm^2,(500-4000)×2.6×10^13ions/cm^2的剂量对番茄果皮进行刻蚀,刻蚀前后的榈厚度用α透射能谱进行测量,借助Trim97计算程序对刻蚀厚度进行标定。
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