低能离子束刻蚀番茄果皮的α透射能谱研究

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用20keV的Ar^+,N^+离子分别以(500-2500)×2.6×10^13ions/cm^2,(500-4000)×2.6×10^13ions/cm^2的剂量对番茄果皮进行刻蚀,刻蚀前后的榈厚度用α透射能谱进行测量,借助Trim97计算程序对刻蚀厚度进行标定。
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