TC4钛合金表面CrN和DLC耐磨涂层制备及性能研究

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采用物理气相沉积技术,在TC4合金表面成功制备出CrN和DLC耐磨涂层。用扫描电镜和光学显微镜分析了耐磨涂层的表面/截面形貌和涂层厚度,VHM-I04显微硬度计测试了涂层的硬度,WS-1型划痕试验机研究了涂层的结合强度,IPC-208B原子力显微镜观察了DLC涂层的表面粗糙度,并采用TE66微磨损试验机系统考核了两种涂层的摩擦学性能。结果表明:CrN涂层厚度为5.12μm,硬度HV 1 267,结合力为22.95 N;DLC涂层由致密分布的纳米颗粒组成,厚度2.30μm,硬度HV 2 176,结合力24.85 N,表面粗糙度仅为4.86 nm;与裸TC4合金和CrN涂层相比,DLC涂层的摩擦系数较小,只有0.073,具有较好的减摩和抗磨性。
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