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在晶体硅表面沉积本征非晶硅层的异质结（SHJ）太阳电池以其高效率、高稳定性、低成本和低温制备等诸多优势被人们广泛关注．在晶体硅衬底表面制绒，是提高太阳电池效率的有效途径之一．本文采用四甲基氢氧化铵（TMAH）在硅片表面制备了不同形貌的金字塔结构的硅异质结电池衬底，并应用到电池中．通过研究不同金字塔的形貌，光学特性以及电学特性，找出提高硅片钝化效果，改善异质结电池的性能的优化的金字塔结构．结果表明：2％（w）TMAH，10％（w）异丙醇（IPA）可以在硅片表面制得标准四面体金字塔结构．和其它两种金字塔结构相