后处理工艺对PCT薄膜形貌与结构的影响

来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Jingle2008

【摘要】

：

采用射频磁控溅射技术,利用快速退火工艺制备出了大面积(φ120 mm)表面光滑、连续、均匀的(Pb,Ca)TiO3(PCT)薄膜.原子力显微镜和X射线衍射分析结果表明,快速退火处理工艺较常

【作者】

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彭家根钟朝位张树人张万里

【机构】

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电子科技大学微电子与固体电子学院

【出处】

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电子元件与材料

【发表日期】

：

2004年10期

【关键词】

：

无机非金属材料 PCT薄膜射频磁控溅射退火 inorganic non-metallic materials PCT thin films RF magne

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采用射频磁控溅射技术,利用快速退火工艺制备出了大面积(φ120 mm)表面光滑、连续、均匀的(Pb,Ca)TiO3(PCT)薄膜.原子力显微镜和X射线衍射分析结果表明,快速退火处理工艺较常规退火处理工艺具有晶化温度低、晶化时间短、薄膜结晶性能好、易与微电子工艺兼容等优点.经500～550℃快速退火处理后,PCT薄膜已完全形成钙钛矿结构,最佳晶化温度约为550℃.

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