论文部分内容阅读
针对多晶硅淀积工艺对半导体桥性能影响严重的问题,开展多晶硅工艺优化实验,获得多晶硅淀积工艺优化条件,多晶硅半导体桥电阻稳定控制在1±0.07 Ω范围内,达到多晶硅桥的应用要求。
半导体桥多晶硅工艺优化
【摘 要】
：
针对多晶硅淀积工艺对半导体桥性能影响严重的问题,开展多晶硅工艺优化实验,获得多晶硅淀积工艺优化条件,多晶硅半导体桥电阻稳定控制在1±0.07 Ω范围内,达到多晶硅桥的应用
【机 构】
：
中国人民解放军驻重庆气体压缩机厂军事代表室;
【出 处】
：
微电子学
【发表日期】
：
2004年期
其他文献
本文介绍了罗西塔·伊利耶娃（Rositsa T.Ilieva）的著作《城市食物规划:发达国家转型的种子》（图1）及其相关理论[1]。该书梳理了近20年来城市食物规划运动的起源与发展,通过对北美
<正>新时代新征程,对干部的能力和素质提出了更高要求。党的十九大报告提出,"注重培养专业能力、专业精神,增强干部队伍适应新时代中国特色社会主义发展要求的能力"。夺取新
西门子PLC在使用中会遇到烧坏、信号采集受干扰的情况,对于使用者来说如何更好的避开这些问题,让PLC高效快速的工作,这就需要一套西门子PLC强抗干扰和损耗的精准安装措施。本
通过引入忠诚经纪人指数和优质经纪人总数两个指标体系,对政务微博整体网络中经纪人的分布情况进行度量和摸查,并分析了十大政务微博优质经纪人的获取情况,寻找具备优质经纪
黑格尔、海德格尔和拉康哲学之间存在密切的逻辑关联。海德格尔对黑格尔的批判,一方面是黑格尔思想内核中存在着一个他所未曾思考过的张力和对抗,另一方面是黑格尔的否定性概
<正> 我们残联的日常工作,包括核发和管理残疾人证,处理残疾人的来信来访,现在又增加了一项内容:向残疾人及其家属宣传残联不是残疾人的"政府",残疾人和健全人一样同为我国的
期刊
小儿腹泻属临床常见多发病，由于小儿用药困难，故外用制剂逐渐成为近年研究热点。巴布剂具有可反复使用、载药量大等优点，在临床上应用更具前景。香萸巴布剂由党参、白术、广藿香
“十一五”以来,学校在继承和发扬优良传统基础上,将教育生态理念融会到学校教育科研的管理中,积极探索适合学校教育科研持续发展的管理方略,努力揭示学校教育科研发展的规律
<正>中国画亦称"水墨画",它以笔墨为载体,积淀了深厚的中华民族的文化渊源,是一方艺术创造与思想升华的沃土。学习中国画有利于培养儿童对中国民族传统文化的热爱情感,也是中