【摘 要】
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<正>一、前言 进入21世纪以来,MEMS（MicroElectro Mechanical Systems,微机电一体化）技术在光领域中的应用非常引人注目。微机电一体化在光技术中的应用发展成了MOEMS（Micro Op
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<正>一、前言 进入21世纪以来,MEMS（MicroElectro Mechanical Systems,微机电一体化）技术在光领域中的应用非常引人注目。微机电一体化在光技术中的应用发展成了MOEMS（Micro OptoElectro Mechanical Systems,微光机电一体化）技术。由于以光通信网络为中心的市场急增、MEMS技术的成熟和国外发达国家的大力研究开发,微光机电一体化技术正在迅猛地发展。 随着因特网的普及,光纤通信的信息传输量爆发性的增加,据统计,在2000年时,
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