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采用化学气相沉积（CVD）-高温热解法，在不同工作压强条件下，制备了惯性约束聚变靶用SiC空心微球。利用X射线光电子能谱仪、扫描电子显微镜、白光干涉仪、X射线照相机对SiC空心微球的成分、表面形貌、表面粗糙度、球形度以及壁厚均匀性进行了测试与分析。研究结果表明：随工作压强的增加，SiC空心微球的表面均方根粗糙度先减小后增加，当工作压强为15Pa时，表面均方根粗糙度达到最小值98nm；随工作压强的增加，SiC空心微球的球形度未发生明显变化，且均优于97%；而壁厚均匀性则随工作压强的增加先增加后减小，当压强为