【摘 要】
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控制硅烷等离子体中纳米粒子的产生和生长,可以有效的控制薄膜的沉积速度和质量,为此研究人员建立了流体模型并与粒子生长基制和各种粒子化学反应相结合,来深入研究尘埃等离
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控制硅烷等离子体中纳米粒子的产生和生长,可以有效的控制薄膜的沉积速度和质量,为此研究人员建立了流体模型并与粒子生长基制和各种粒子化学反应相结合,来深入研究尘埃等离子体中尘粒的产生和输运过程.本论文系统介绍了近年来迅速发展的流体模型,给出气体压力对粒子生长的影响,气体温度对尘粒密度的影响,分析了纳米粒子受力情况和粒子大小与充电量的关系,并且得出粒子浓度和电子温度随时间的变化,以及正离子负离子和电子的浓度在等离子体中的分布.
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