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总结了极高真空（XHV低于10^-9Pa的压力范围）获得和测量方法以及获得和测量极高真空的限制因素，描述了降低XHV系统器壁和元件（包括真空规或残余气体分析器）出气率采用的技术。
极高真空技术的发展
【摘 要】
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总结了极高真空（XHV低于10^-9Pa的压力范围）获得和测量方法以及获得和测量极高真空的限制因素，描述了降低XHV系统器壁和元件（包括真空规或残余气体分析器）出气率采用的技术。
【机 构】
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兰州物理研究所
【出 处】
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宇航计测技术
【发表日期】
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2009年5期
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