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在掺氟的SnO2（Fro）导电玻璃衬底上采用直流磁控溅射的方法室温沉积纯钒金属薄膜，再在退火炉中经后退火工艺制备VO2／Fro复合热致变色薄膜，并对复合薄膜的结构及其光学特性进行研究．结果表明，导电玻璃上的FTO并没有改变VO2择优取向生长，但明显改变了VO2薄膜的表面形貌特征．与相同工艺条件下在玻璃衬底上制备的VO2薄膜相比，VO2／Fro复合薄膜的相变温度降低约18℃，热滞回线温宽收窄约4℃，相变前后的红外透过率分别约为42％和21％．说明复合薄膜既可明显降低相变温度和热滞宽度，又可增强VO2薄膜的红