【摘 要】
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<正> 质量流量控制器（Mass Flow Controllers:MFC）是一种精确控制气体流量的部件。实际上它包括质量流量控制（MFC）和质量流量计（Mass Flaw Me-ters:MFM）二部分。故有时将 MFC 称为
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<正> 质量流量控制器（Mass Flow Controllers:MFC）是一种精确控制气体流量的部件。实际上它包括质量流量控制（MFC）和质量流量计（Mass Flaw Me-ters:MFM）二部分。故有时将 MFC 称为 MFM。其原理如图1所示: 如图1所示,在气体通路的上方引出一毛细管旁路,在毛细管的二边用相同的热敏阻抗材料绕上相同阻值的加热线圈 R1、R2,R1=R2=R。质量流量控制器工作时在二绕组上加上相同的恒定电流加热,当管道内没有气体流通的情况下,该电桥平衡,检测点无电压差。一旦有气体流经 by pass 管路时,毛细管同样有一定比例的气体流过,气体在
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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
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