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对热等静压FGH96合金热处理工艺进行了研究，采用物理化学相分析方法研究了FGH96合金热处理前后析出相类型、数量和γ’相粒径分布，研究表明FGH96合金中析出相主要是面心立方晶系γ＇相，微量相主要为面心立方结构的M（C，N）和四方晶系的M3B2；热处理冷却速度对FGH96合金中析出相结构影响不大，但对FGH96合金γ’相析出行为有很大影响，通过降低热处理后冷却速度，FGH96合金中γ’相的尺寸和大尺寸γ’相的含量大幅度增加。