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本文制备了具有低反射率特性和光催化性能的三层复合薄膜SiCxOy／SnO2：F／TiO2。SiCxOy层直接沉积在玻璃基体上，作为障碍层避免离子从玻璃基板扩散到最外的功能层。而SnO2：F和TiO2作为功能层则分别使复合薄膜具有低反射率和光催化性能。利用X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）和傅立叶变换红外光谱仪（FTIR）对样品进行表征。与纯TiO2薄膜相比，复合薄膜由于表面粗糙，以及TiO2到SnO2层界面间的电子移动，表现出较高的光催化性能和亲水性。另一方面，由于SnO2：F层的低E特性，复