退火工艺对Pb（Zr0．55Ti0．45）O3铁电薄膜结晶取向的影响

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【摘要】

：

用射频磁控溅射法在Pt(111)/Ti/SiO2/Si上成功的制备了Pb(Zr0.55Ti0.45)O3(PZT)铁电薄膜,通过传统退火(CFA)和快速退火(RTA)不同的退火方式,获得了(100)和(111)择优取向的铁

【作者】

：

田召明张树人陈富贵杨成韬

【机构】

：

电子科技大学

【出处】

：

信息记录材料

【发表日期】

：

2005年3期

【关键词】

：

铁电薄膜射频磁控溅射疲劳特性 ferroelectric thin film radio frequency magnetron sputtering f

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用射频磁控溅射法在Pt(111)/Ti/SiO2/Si上成功的制备了Pb(Zr0.55Ti0.45)O3(PZT)铁电薄膜,通过传统退火(CFA)和快速退火(RTA)不同的退火方式,获得了(100)和(111)择优取向的铁电薄膜.对薄膜电学特性的测试表明,薄膜的织构对其电学性能有很大影响,(111)取向的薄膜与(100)取向的薄膜相比,剩余极化Pr和矫顽场Ec较大,但抗疲劳特性却较差.

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