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ITO薄膜的制备工艺及进展
ITO薄膜的制备工艺及进展
来源 :玻璃与搪瓷 | 被引量 : 0次 | 上传用户:HUANJIAN666
【摘 要】
:
对玻璃表面ITO膜的组成、导电机制、性质和制备工艺进行描述。介绍各种制备工艺的优点及在今后的研究中要解决的问题
【作 者】
:
王树林
夏冬林
【机 构】
:
武汉理工大学硅酸盐材料工程教育部重点实验室
【出 处】
:
玻璃与搪瓷
【发表日期】
:
2004年05期
【关键词】
:
ITO薄膜
磁控溅射
真空沉积
溶胶-凝胶
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对玻璃表面ITO膜的组成、导电机制、性质和制备工艺进行描述。介绍各种制备工艺的优点及在今后的研究中要解决的问题
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