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介绍了一种微型化体声波谐振器的理论模型和实作结果,采用微电子和微机械加工技术,实现了一种上、下电极覆盖压电AlN的“三明治”空气腔悬梁结构.该谐振器具有微型化,高品质因数,低成本的特点,实作的谐振器频率约20 MHz,品质因数为800,机电耦合系数约0.5％.
基于AlN轮廓模式矩形盘谐振器的研究
【摘 要】
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介绍了一种微型化体声波谐振器的理论模型和实作结果,采用微电子和微机械加工技术,实现了一种上、下电极覆盖压电AlN的“三明治”空气腔悬梁结构.该谐振器具有微型化,高品质
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究所十六专业部
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2014年1期
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