硅衬底CMOS射频集成电路中金属厚度对平面螺旋电感Q值的影响

来源 :上海大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：baiyunmtq

【摘要】

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该文着重分析金属线厚度对Q值的影响.为此设计了三组电感,它们的金属线厚度分别为51、0和20μm,并用Ansoft HFSS软件进行FEM(finite element method)的仿真.仿真的结果表明,

【作者】

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陈雪芳程东方杨文荣

【机构】

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上海大学理学院,上海大学微电子研究与开发中心

【出处】

：

上海大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2005年05期

【关键词】

：

平面螺旋电感金属线厚度串联电阻 Q值 RF集成电路

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该文着重分析金属线厚度对Q值的影响.为此设计了三组电感,它们的金属线厚度分别为51、0和20μm,并用Ansoft HFSS软件进行FEM(finite element method)的仿真.仿真的结果表明,金属线厚度对电感Q值的影响在很大程度上取决于电感内径的大小.因此当金属线厚度超过10μm时,通过进一步增加金属线厚度来改善Q值仍是可能的.

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