【摘 要】
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针对基于三轴MEMS加速度计的倾角传感器中，加速度计敏感轴与倾角传感器外壳坐标系不一致难以直接获取加速度温度特性进行温度补偿问题，本文通过误差模型分析，提出了一种基于转换矩阵对角元素归一化的温度补偿方法，用以提高三轴加速度计构成的双轴倾角传感器的环境适应性。采用传统的“六位置法”获取用于补偿灵敏度系数不一致和非正交导致误差的转换矩阵以及包含偏置误差的矩阵。相对于常温获取的转换矩阵的对角元素，对不同
【基金项目】
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国家自然科学基金（U1732152）； 中科院战略性先导科技专项（XDA22030305）；
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针对基于三轴MEMS加速度计的倾角传感器中，加速度计敏感轴与倾角传感器外壳坐标系不一致难以直接获取加速度温度特性进行温度补偿问题，本文通过误差模型分析，提出了一种基于转换矩阵对角元素归一化的温度补偿方法，用以提高三轴加速度计构成的双轴倾角传感器的环境适应性。采用传统的“六位置法”获取用于补偿灵敏度系数不一致和非正交导致误差的转换矩阵以及包含偏置误差的矩阵。相对于常温获取的转换矩阵的对角元素，对不同温度下的转换矩阵相应对角元素归一化，获取灵敏度系数温度特性，以克服灵敏度系数不一致相关的矩阵与非正交相关的矩阵无法分离的问题，从而实现三轴加速度传感器灵敏度系数和偏置的温度补偿。在温度-20℃～50℃条件下对转换矩阵对角元素归一化温度补偿方法进行了验证，结果表明，该方法可有效减小倾角传感器的温度漂移。
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