【摘 要】
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基于气体直接吸收机理、微机械技术实现的气动红外探测器是对中远波段实现室温探测的新型红外探测器。该探测器的关键结构———微气腔和可动薄膜的腐蚀工艺研究对整个器件的
【机 构】
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北京工业大学电子信息和控制工程学院北京市光电子技术实验室,北京工业大学电子信息和控制工程学院北京市光电子技术实验室,北京工业大学电子信息和控制工程学院北京市光电子技术实验室,北京工业大学电子信息和控制
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基于气体直接吸收机理、微机械技术实现的气动红外探测器是对中远波段实现室温探测的新型红外探测器。该探测器的关键结构———微气腔和可动薄膜的腐蚀工艺研究对整个器件的制作有重要意义。根据探测器结构提出了对腐蚀工艺的要求,采用EPW湿法腐蚀的工艺,通过实验研究器件结构制作的最佳腐蚀条件和腐蚀速度,保证了工艺的可控性和器件结构的质量。
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