【摘 要】
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本文介绍了一款自主研制的用于模具,工具以及医疗器具等要求功能性镀膜的离子源,并论述了其工作原理,此离子源具有大束流、低能量和大辐照面积等优点。利用该源,采用离子束辅
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本文介绍了一款自主研制的用于模具,工具以及医疗器具等要求功能性镀膜的离子源,并论述了其工作原理,此离子源具有大束流、低能量和大辐照面积等优点。利用该源,采用离子束辅助沉积的方法,在SUS304材料基体上制备DLC（类金刚石）薄膜。并对离子源的永磁场强度进行了研究和分析。实验结果表明,该源的离子流分布均匀性较好,制备的DLC（类金刚石）薄膜摩擦系数小、硬度高、耐磨性好、耐高温、化学性能稳定。
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