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通过对比国内外研究状况,对现阶段常用的柔性基底作了简单介绍,并从制作材料及结构、传感器与柔性衬底材料的结合方式、应用现状等方面介绍了柔性温度传感器,并对柔性温度传感器今后的发展趋势进行了展望.
柔性温度传感器研究进展
【摘 要】
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通过对比国内外研究状况,对现阶段常用的柔性基底作了简单介绍,并从制作材料及结构、传感器与柔性衬底材料的结合方式、应用现状等方面介绍了柔性温度传感器,并对柔性温度传
【机 构】
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中国科学院微电子研究所,国网辽宁省电力公司电力科学研究院,北京国网电力技术有限公司,国网陕西省电力公司检修公司
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2017年10期
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