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超灵敏检漏的实时校准是国际上尚未解决且未标准化的一个难题,本文利用自建的微流量参考漏率系统对商用检漏仪和超灵敏检漏系统进行了实时校准的实验研究,在10-14Pa·m3/s～10-10Pa·m3/s宽范围漏率内实现了对检漏仪器的实时校准.
超灵敏检漏的实时校准
【摘 要】
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超灵敏检漏的实时校准是国际上尚未解决且未标准化的一个难题,本文利用自建的微流量参考漏率系统对商用检漏仪和超灵敏检漏系统进行了实时校准的实验研究,在10-14Pa·m3/
【机 构】
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清华大学电子工程系
【出 处】
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真空科学与技术学报
【发表日期】
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2006年1期
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