低温化学气相沉积氮化钛

来源 :北京钢铁学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:luckyphilip
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用纯氨做原料在钢铁表面进行化学气相沉积氮化钛时,可使沉积温度降到570℃以下。高速钢刀具经沉积后不需再行淬火处理。本文介绍了沉积反应时纯氨的制备以及为降低沉积温度的沉积条件选择等。样品经此处理后,涂层生长速率为2.7μ2.5(μm)/hr,涂展硬度HV_(0,05),约为1700kg/mm~2。X射线衍射分析证明表面为TiN。 With pure ammonia as the raw material for chemical vapor deposition of titanium nitride on the steel surface, the deposition temperature can be reduced below 570 ° C. After the high-speed steel cutting tools do not need to be quenched after processing. This paper introduces the preparation of pure ammonia during deposition reaction and the selection of deposition conditions to reduce the deposition temperature. The sample after this treatment, the coating growth rate 2.7μ2.5 (μm) / hr, coating hardness HV_ (0,05), about 1700kg / mm ~ 2. X-ray diffraction analysis confirmed that the surface was TiN.
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