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纳米半导体硅薄膜是利用等离子体增强化学气相沉积（ＰＥＣＶＤ）方法制备的，制备可以很好地进行调节控制。纳米硅薄膜由两种组元：纳米尺度晶粒组元和晶粒间的界面组元，即晶态相和晶界相组成。纳米半导体硅薄膜对发展半导体器件，例如量子功能器件和薄膜敏感器件等，很有价值。
纳米硅薄膜与纳米电子学
【摘 要】
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纳米半导体硅薄膜是利用等离子体增强化学气相沉积（ＰＥＣＶＤ）方法制备的，制备可以很好地进行调节控制。纳米硅薄膜由两种组元：纳米尺度晶粒组元和晶粒间的界面组元，即晶态相和晶界相组成。
【机 构】
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北京理工大学电子工程系
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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1999年6期
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