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针对以往臭氧发生器产气浓度波动、运行电耗大等缺点,根据臭氧制备原理和工艺流程,在传统放电功率和进气流量闭环控制方案的基础上,通过热力学分析引入内循环水入口温度的闭环控制,设计了一种模糊PID控制器。试验结果表明,采用该臭氧量控制系统既提高了臭氧发生器产气浓度的稳定性,又降低了其耗气量和运行电耗,效果良好。