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针对当前对MEMS矢量水听器高可靠性、宽频带的迫切要求，设计了2×2单片集成阵列式MEMS矢量水听器。矢量水听器单片集成阵列化可以提高水听器一致性，大幅度降低水听器的制造成本。在理论分析的基础上，通过Ansys软件完成对阵列微敏感结构机械特性和频率特性的仿真，确定压阻惠斯通电桥的布置及连接方式。对于水听器的研究和应用有重要意义。