用干涉方法测量薄膜应力

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基于基片弯曲法和牛顿环的基本原理,使用He-Ne激光器、扩束镜、凸透镜和带分光镜的移测显微镜·搭建了薄膜应力测量装置,采用直流溅射法制备了厚度为30~144nm的银薄膜,衬底采用厚度为0.15mm、直径为18mm的圆形玻璃片,实验发现,薄膜厚度对银薄膜的内应力有显著的影响,在薄膜厚度很小时,随着薄膜厚度的增加,应力迅速增大,达到最大值后,随着厚度的继续增加,薄膜应力下降较快并趋于稳定值.
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