边缘阻尼对横向振动微谐振器品质因子的影响

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:daqizzq
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对微结构而言,空气表面层阻尼计算模型一般用率特模式(Couette-type)和斯托克斯模式(Stocks-type)但是已报道的模型计算所得到Q值最小误差范围只能达到10%-20%,论文考虑了边缘效应的影响,建立了一个分析模型,对已知的几种横向振动谐振器的Q值进行了计算,并将其与实测值比较,结果表明此模型所得Q值的平均误差小于10%。
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