【摘 要】
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通过液相外延方法，在碲锌镉衬底上制备了原位Au掺杂碲镉汞薄膜材料，采用金相显微镜、X光双晶衍射仪、二次离子质谱仪、Hall测试、少子寿命测试等手段对Au掺杂的碲镉汞薄膜材料
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通过液相外延方法，在碲锌镉衬底上制备了原位Au掺杂碲镉汞薄膜材料，采用金相显微镜、X光双晶衍射仪、二次离子质谱仪、Hall测试、少子寿命测试等手段对Au掺杂的碲镉汞薄膜材料进行了表征，外延片的表面形貌、晶格质量等和常规的碲镉汞外延材料基本相当，少子寿命较常规材料提高至少一个量级，芯片R0A提高至少5倍，并成功制备出了截止波长为10μm的256×256探测器芯片，响应率非均匀性为2．85％，有效像元率为99．2％。
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