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本文介绍微机电系统(MEMS)的技术发展概况以及MEMS在生物芯片中的应用，并对MEMS在生物芯片中的未来发展趋势进行展望。MEMS的发展极大地推动了生物芯片的发展，建议对MEMS在生物芯片中的应用进行更加系统深入的研究。
MEMS技术发展及其在生物芯片中的应用概述
【摘 要】
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本文介绍微机电系统(MEMS)的技术发展概况以及MEMS在生物芯片中的应用，并对MEMS在生物芯片中的未来发展趋势进行展望。MEMS的发展极大地推动了生物芯片的发展，建议对MEMS在
【机 构】
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广西师范学院物理与电子工程学院,广西南宁530023
【出 处】
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广西计算机学会2010年年会
【发表日期】
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2010年9期
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