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介绍了上海电子束离子阱实验装置（EBIT）低温超导段常温和低温的真空获得系统设计，通过溅射离子泵和低温冷面的冷凝抽气系统达到了所需真空要求。系统的真空调试结果表明，常温下极限真空达到10^-6Pa，液氦低温下在离子阱外围区域测量值是5×10^-8Pa。离子阱区的压力是通过建立区域气体流动模型计算得到。结果预示，在离子捕集区真空度能达到10^-10 Pa的设计指标。