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随着IC制造技术的迅速发展，硅膜片式压力传感器及其集成化压力传感器受到青睐，对其开发研制相当盛行。本文以应用压阻效应原理的硅膜片式压力传感器为中心阐述半导体压力传感器的最近研制现状与开发动向。
半导体压力传感器研制现状与开发动向
【摘 要】
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随着IC制造技术的迅速发展，硅膜片式压力传感器及其集成化压力传感器受到青睐，对其开发研制相当盛行。本文以应用压阻效应原理的硅膜片式压力传感器为中心阐述半导体压力传感器
【机 构】
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安徽立达信息技术研究所,安徽立达信息技术研究所
【出 处】
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传感器世界
【发表日期】
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2007年7期
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