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将计算全息技术、原子光学及微细加工技术相结合,得出一种氖原子束计算全息编码成像技术,它弥补了利用激光梯度场控制原子堆积只能制作单一量子点、线等周期性图形的不足.对该技术进行了模拟研究,结果表明,可以制作所需的任意超微细结构图形,特征线宽可达纳米量级.
氖原子束计算全息编码成像模拟研究
【摘 要】
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将计算全息技术、原子光学及微细加工技术相结合,得出一种氖原子束计算全息编码成像技术,它弥补了利用激光梯度场控制原子堆积只能制作单一量子点、线等周期性图形的不足.对
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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2002年4期
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