论文部分内容阅读
表金属杂质含量是电子级多晶硅一项重要的质量指标,目前电子级多晶硅在降低表面金属杂质含量的除杂技术上主要以酸清洗为主,通过不同程度的表面刻蚀将表金属杂质控制在较低水平。文章主要对电子级多晶硅料化学清洗工艺,尤其从电子级多晶硅表金属控制中清洗液的选择方面进行相关的论述。
浅谈电子级多晶硅的清洗工艺
【摘 要】
：
表金属杂质含量是电子级多晶硅一项重要的质量指标,目前电子级多晶硅在降低表面金属杂质含量的除杂技术上主要以酸清洗为主,通过不同程度的表面刻蚀将表金属杂质控制在较低水
【机 构】
：
青海黄河水电公司新能源分公司青海省新能源材料与技术重点实验室
【出 处】
：
智能城市
【发表日期】
：
2019年23期
其他文献
俄罗斯第一条单轨铁路于2004年11月20日开始试运营，随后将在2005年初正式运营，莫斯科市副市长雅可诺夫斯基介绍，这条8.6km长的单轨铁路设有6个车站，其中一个与城北的国家展览中心
绿茶产品花色较多，其种类有炒青、烘青、晒青、蒸青之分，外形有长、扁、圆、针、卷、片之别，其品质的形成，无论制成哪一种绿茶，都是要经过杀青，揉捻、干燥三个过程。绿茶在干燥过程
没有产生消费行为的用户,能叫用户吗？这同样是一个值得商榷的概念（《门户网站应积极开拓有效用户》,“来自读者”,2008年8月5日）。
要想学生爱上作文、喜欢写作文并不是一件难事,教师耐心的点拨,巧妙地引导方法,是学生写好作文的关键要素。关注学生素质的个体差异,因地制宜、因人施教。“滴水汇成大海”,
迎春家族即广泛意义上的迎春花,均属于木犀科,主要包括广泛应用于各景区和园林绿地的迎春、金钟、连翘、云南黄素馨,另外,还有极少的量的探春,花系均为黄色。本文介绍它们的
一、主要特征特性 1.形态特征:水葫芦也称凤眼莲、凤眼蓝,属雨久花科,为多年生水生草本植物、根须状,从根际生出匍匐枝发生新株:叶直立,卵形或圆型,叶柄长或短,中部以下膨大
期刊