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硅微机械陀螺仪的驱动模态采用自激闭环的控制方式,实现陀螺在谐振频率上恒幅振荡。针对陀螺起振后的信号,设计基于CORDIC算法、LMS自适应算法及硬件频率计的正弦信号幅度和频率的检测系统,得到陀螺驱动模态振动幅值。实验表明:驱动响应信号的频率检测精度为0.5×10^-6,幅度检测精度为2×10^-6,振动幅值基本维持在0.800 V不变,证明了该检测系统的实用性。