【摘 要】
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本文采用了“湿法光刻”“薄铝层掩膜”“共形掩膜”“刻铝时将显影及腐蚀一次完成”“剥离”等工艺方法,提高了光刻的分辩率,成功地分辩出0.75μ的线条及间距。
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本文采用了“湿法光刻”“薄铝层掩膜”“共形掩膜”“刻铝时将显影及腐蚀一次完成”“剥离”等工艺方法,提高了光刻的分辩率,成功地分辩出0.75μ的线条及间距。
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