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多束SPPs干涉光刻是一种可突破衍射极限的新型纳米加工方法。在分析SPPs激励和传输机理基础上，建立多束SPPs干涉成像模型，编制了能快速准确地计算多束SPPs干涉光刻成像的仿真软件。并在此基础上对多束SPPs的干涉像进行了模拟，发现如果将两束光增加到四束或八束光激发SPPs干涉，则可获得二维分布的周期性光斑点阵，在制作纳米光子晶体材料方面有很强的应用前景。随着入射SPPs的增加，当棱锥棱数足够多近似于一个圆锥时，干涉场会形成一系列的同心圆结构，可考虑实现纳米级波带片的制作。