【摘 要】
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为了提高电容式传感器的灵敏度,设计了一种"三明治"结构的电容式压力传感器,其以柔性材料聚二甲基硅氧烷与导电颗粒乙炔黑的混合物为介质层,以溅射在聚对苯二甲酸乙二酯上金
【基金项目】
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国家自然科学基金(61674113);山西省自然科学基金(2016011039,201601D011040)
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为了提高电容式传感器的灵敏度,设计了一种"三明治"结构的电容式压力传感器,其以柔性材料聚二甲基硅氧烷与导电颗粒乙炔黑的混合物为介质层,以溅射在聚对苯二甲酸乙二酯上金属氧化铟锡的导电膜作上下层电极。利用渗流理论,研究乙炔黑对基于PDMS薄膜的电容式压力传感器的灵敏度、动态响应及响应速率的影响。实验结果表明:在8 kPa压强范围内混合2.5 wt%乙炔黑的C-PDMS复合物薄膜的灵敏度为0.7 kPa-1,动态响应时间小于180 ms,在100次弯折后灵敏度几乎保持不变,有良好的稳定性。
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