MBE生长InGaAs/GaAs(001)多层矩阵式量子点

来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yinxuchao1123

【摘要】

：

用分子束外延(MBE)设备以Stranski-Krastanov(S-K)生长模式,通过间歇式源中断方式外延生长了多个周期垂直堆垛的InGaAs量子点,首次获得大小及密度可调的In0.43Ga0.57As/GaAs(

【作者】

：

周清刘珂罗子江郭祥周勋丁召

【机构】

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贵州大学理学院,贵州师范大学物理与电子科学学院,贵州财经大学教育管理学院

【出处】

：

功能材料

【发表日期】

：

2013年08期

【关键词】

：

InGaAs量子点分子束外延垂直堆垛 DWELL结构

【基金项目】

：

教育部高等学校博士学科点专项科研基金资助项目(20105201110003);国家自然科学基金资助项目(60866001);贵州大学研究生创新基金资助项目(理工2012019)

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用分子束外延(MBE)设备以Stranski-Krastanov(S-K)生长模式,通过间歇式源中断方式外延生长了多个周期垂直堆垛的InGaAs量子点,首次获得大小及密度可调的In0.43Ga0.57As/GaAs(001)矩阵式量子点DWELL结构。样品外延结构大致为500nm的GaAs、多个周期循环堆垛InGaAs量子点和60ML的GaAs隔离层等。生长过程中用反射式高能电子衍射仪(RHEED)实时监控,样品经退火后使用扫描隧道显微镜(STM)进行表面形貌的表征。

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