【摘 要】
：
钆镓石榴石（gadolinium gallium garnet,GGG）晶片是一种性能优良的激光材料,但其在抛光后易产生划痕、效率低。为保证GGG晶片的平面度、提高抛光效率,同时控制划痕现象,使用聚
论文部分内容阅读
钆镓石榴石（gadolinium gallium garnet,GGG）晶片是一种性能优良的激光材料,但其在抛光后易产生划痕、效率低。为保证GGG晶片的平面度、提高抛光效率,同时控制划痕现象,使用聚氨酯抛光垫进行机械抛光,研究抛光压力、抛光盘转速对平面度和表面粗糙度的影响。研究表明：使用聚氨酯抛光垫可以有效避免加工过程中产生划痕。在载荷127g/cm2,转速70r/min的条件下,抛光30min后的平面度可达到226nm,表面粗糙度RMS可达到36.3nm;表面缺陷较小,可被后续化学机械抛光很快去除。
其他文献
在5~6GPa、1400~1500℃、保温5min的条件下,以立方氮化硼粉末、多种黏结剂、镀钛金刚石颗粒混合制备出金刚石复合材料。通过扫描电镜（SEM）、X射线衍射仪（XRD）、能谱分析仪（EDS）、拉
在当今社会竞争激烈的环境下,学生的心理健康教育是我们每位教师都应该重视的问题。本文从分析学生心理健康现状的角度,阐述了体育教学中如何加强学生心理健康教育,从而培养
为提高热固化树脂结合剂固结磨粒线锯的制作效率,在环氧-酚醛体系的树脂结合剂固结磨粒线锯涂层材料中加入咪唑、液体聚硫橡胶和偶联剂,通过正交试验对线锯涂层材料组分进行
分频振幅衰减法将地震数据分为不同的频段范围，通过求取给定频率段不同时窗内地震样点的振幅强度，预测出强能量的噪声，以地震样点组的平均绝对振幅值作为标定，确定地震样点的振幅