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气敏元件的技术改造—薄膜气敏元件的开发
气敏元件的技术改造—薄膜气敏元件的开发
来源 :计测技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wgrlxh
【摘 要】
:
简要叙述了气敏元件技术改造的情况,介绍了研制薄膜气敏元件的工艺流程和芯片结构以及我们已研制出的薄膜元件(SnO2,ZnO,Fe2O3,TiO2,ZnSnO3)的气敏特性和温耗特性。
【作 者】
:
王玉青
李亚楠
姜维宾
宋树良
裘南畹
【机 构】
:
济南铁道职业技术学院,济南半导体研究所
【出 处】
:
计测技术
【发表日期】
:
2010年S1期
【关键词】
:
薄膜元件
气敏特性
热功耗特性
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简要叙述了气敏元件技术改造的情况,介绍了研制薄膜气敏元件的工艺流程和芯片结构以及我们已研制出的薄膜元件(SnO2,ZnO,Fe2O3,TiO2,ZnSnO3)的气敏特性和温耗特性。
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