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为了提高大数值孔径投影物镜成像质量，需对镜片进行高精度微调。压电陶瓷是一种高精度定位的执行元件。根据电压控制型压电陶瓷驱动电源的原理，利用运算放大器PA88和OPA2227构成的高压运放式复合放大电路，设计了一种高精度的压电陶瓷驱动器，用于驱动镜片的精密微调。详细阐述了驱动器和供电电源的设计原理，并运用Multisim10软件对该驱动器的输出电压、线性度、静态纹波及稳定性进行了仿真分析。结果表明，该驱动器具有输出精度高，最大非线性误差为0．0005％，静态纹波小（土100nV），稳定性强等优点，达到了投影