【摘 要】
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高端电子级多晶硅是集成电路产业的基础,但由于其对产品纯度和稳定性的苛刻要求,国内并没有厂家能够进行商业化量产,这并不利于集成电路行业的健康稳定发展。本文在国内已掌
【基金项目】
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国家重大专项（02专项）,极大规模集成电路制造技术及成套工艺（2014ZX02404）
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高端电子级多晶硅是集成电路产业的基础,但由于其对产品纯度和稳定性的苛刻要求,国内并没有厂家能够进行商业化量产,这并不利于集成电路行业的健康稳定发展。本文在国内已掌握的改良西门子法多晶硅生产技术的基础上,结合国外先进技术,对精馏、还原的工艺和配套设备都进行了改良,并将光伏级多晶硅和电子级多晶硅生产系统进行了耦合,提高了效率,降低了整体生产成本,降低了原料对于电子级多晶硅生产的制约,形成了闭路循环生产体系。
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