【摘 要】
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本文分析了以TiCl4＋O2为反应体系的RF-PCVD反应器内TiO2气相反应、成核和粒子长大过程．采用分子动力论中的Brownian碰撞理论，经合理简化，建立了粒子长大的动力学模型，该数模为一非
【机 构】
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太原理工大学洁净化工研究所,石家庄开发区新谋新科技有限公司
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本文分析了以TiCl4＋O2为反应体系的RF-PCVD反应器内TiO2气相反应、成核和粒子长大过程．采用分子动力论中的Brownian碰撞理论，经合理简化，建立了粒子长大的动力学模型，该数模为一非线性一阶微分方程，描述TiO2微晶长大的速率．模型表明：粒子的长大速率与温度的1／2次方、TiO2的浓度成正比，与粒径的3／2方成反比；故体系中存在长大过程的自约束现象．在实验条件下，根据粒子长大数模的计算值与实验结果相接近．
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