微桥法研究低应力氮化硅力学特性及误差分析

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【摘要】

：

用微机械悬桥法研究低应力氮化硅薄膜的力学性能.对符合弹性验则的微桥进行测试,在考虑衬底变形的基础上,利用最小二乘法对其载荷-挠度曲线进行拟合,得到低应力low pressure

【作者】

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宗登刚王钻开陆德仁王聪和

【机构】

：

中国科学院上海微系统与信息技术研究所,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,香港理工大学

【出处】

：

机械强度

【发表日期】

：

2003年4期

【关键词】

：

微电子机械系统低压化学气相沉积氮化硅弹性模量残余应力弯曲强度微机械悬桥法误差分析 Micro-electro-mechanical system(

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用微机械悬桥法研究低应力氮化硅薄膜的力学性能.对符合弹性验则的微桥进行测试,在考虑衬底变形的基础上,利用最小二乘法对其载荷-挠度曲线进行拟合,得到低应力low pressure chemical vapour deposited (LPCVD)氮化硅的弹性模量为314.0 GPa±29.2 GPa, 残余应力为265.0 MPa±34.1 MPa.探讨梯形横截面对弯曲强度计算和破坏发生位置的影响,得到低应力氮化硅的弯曲强度为6.9 GPa±1.1 GPa.对微桥法测量误差的分

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