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采用射频磁控溅射方法在NiO-YSZ阳极基底上制备了致密的YSZ电解质薄膜，主要研究了热处理温度对电解质薄膜性能的影响。试验发现随着热处理温度的提高，所制备的YSZ薄膜中晶粒结合更加致密，气孔率显著降低，薄膜与基底间的结合更加紧密。通过组装单体电池实际考察了薄膜的性能，发现随着热处理温度的提高，电池的开路电压及放电性能均有大幅度的提高。在800℃下，开路电压由0．82V提高到1．023V，已接近SOFC的理论电压；最大功率密度由480mW／cm^2提高到760mW／cm^2。