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通过分析单晶硅的纳米印压试验结果以及显微压痕透射电镜观察结果,并结合尺度效应理论,提出了一种新的单晶硅超精密切削脆塑转变机理,建立了宏微结合的单晶硅超精密切削模型。首次基于理论分析的方法给出了较为精确的单晶硅脆塑转变的临界切削厚度,并通过试验对研究结果给予验证。
单晶硅超精密车削加工脆塑转变机理及临界切削厚度的研究
【摘 要】
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通过分析单晶硅的纳米印压试验结果以及显微压痕透射电镜观察结果,并结合尺度效应理论,提出了一种新的单晶硅超精密切削脆塑转变机理,建立了宏微结合的单晶硅超精密切削模型
【机 构】
：
哈尔滨工业大学机电工程学院; 哈尔滨工业大学机电工程学院 哈尔滨150001沈阳航空工业学院机械学院; 沈阳110034; 哈尔滨150001;
【出 处】
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航空精密制造技术
【发表日期】
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2006年06期
【基金项目】
：
十五国家科学技术预研资助项目(18.2.1.1)
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