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综述了二元光学元件的常用制作工艺技术,包括台阶刻蚀法、薄膜沉积法、直接写入法、准分子激光加工法和灰阶掩模法.分析了这些方法的优缺点,并对其制作技术的发展进行了评述.
二元光学元件的制作技术与进展
【摘 要】
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综述了二元光学元件的常用制作工艺技术,包括台阶刻蚀法、薄膜沉积法、直接写入法、准分子激光加工法和灰阶掩模法.分析了这些方法的优缺点,并对其制作技术的发展进行了评述.
【机 构】
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华中科技大学光电系,华中光电技术研究所
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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2005年2期
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